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에스디옵틱스는 자체 개발 기술인 WiseScope(MALS™)를 활용하여 기존의 비전 검사 시스템의한계를 극복하기 위해 차별화된 제품을 지속적으로 개발하고 있습니다.
에스디옵틱스는 자체 개발 기술인 WiseScope(MALS™)를 활용하여 기존의 비전 검사 시스템의한계를 극복하기 위해 차별화된 제품을지속적으로 개발하고 있습니다.
- Optical Solution Partner
- 에스디옵틱스 홈페이지에 방문해주신 것을 진심으로 환영합니다.
에스디옵틱스는 초고속 가변 초점 3D 현미경(WiseScope)과 이를 활용한 다양한 비전 검사 시스템 개발 및 장비 제작 기술을 바탕으로
다양한 분야의 솔루션 제공 경험을 보유한 글로벌 기업입니다.
- High-Speed
- WiseScope는 초고속 가변 초점이 가능한 현미경으로 가변 초점 속도와 기술력을 인정 받았으며,초고속 3D 검사가 가능합니다.
- 주요 글로벌 회사들과 미래 핵심 기술 개발에 공동참여하고 있습니다.
- RELIABILITY
- WiseScope를 활용한 비전 검사 시스템을 개발하여 전세계에 독점적으로 공급하고 있으며,
뛰어난 기술력으로
검사자 편차가 없는 정확한 검사가 가능합니다.
에스디옵틱스 뉴스룸
우리회사의 새로운 소식을 전합니다.
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25.03.06
▲ 에스디옵틱스 반도체 유리기판 TGV 검사 솔루션 'TGV 비전 마스터'가 샘플을 검사하는 모습.
에스디옵틱스는 3차원(3D) 라인 스캐너를 활용해 TGV 전수 검사가 가능한 'TGV 비전 마스터'를 개발했다고 5일 밝혔다.
TGV는 유리기판에 수십마이크로미터(㎛) 크기구멍(홀)을 뚫은 후 구리 등 금속을 채워 전기 신호를 전달하는통로다. TGV가 제 기능을 하려면 구멍들의 크기와 간격이 균일해야 한다. 특히 위·아래 구멍 직경에 편차가 없어야 신뢰성을 확보할 수 있다.
에스디옵틱스는 유리 기판과 수직 및 사선으로 배치된 광학 스캐너로 TGV 구멍을 3D 형상으로 실시간 측정하는 기술을 개발했다. 구멍의 상면과 하면, 안쪽(내면) 직경을 직접측정해, TGV 공정이 제대로 수행됐는지 파악하는 개념이다. 구멍의둥근 형태, 테이퍼 각도, 상·하부 홀 위치 편차까지 정밀하게분석, 공정상의 미세 편차를 즉각 파악하고 이를 통해 반도체 유리기판의 품질을 관리할 수 있다고 회사는설명했다. ▲ 에스디옵틱스 검사 이미지. 반도체 유리기판 TGV 구멍의 외경, 내경,위치 정밀도, 둥근정도(진원도)를 측정했다(사진=에스디옵틱스) 이같은 검사는 광학 스캐너가 빠르게 초점을 바꿔야 가능한데, 에스디옵틱스는독자 기술인 초고속 가변 초점렌즈(MALS) 기술을 활용했다. 정밀기계기술(MEMS)로만들어진 렌즈는 내부에 8000여개 초미세 거울이 빛의 각도를 제어,실시간으로 초점을 맞춘다. 에스디옵틱스가 세계적 광학 기업 독일 칼 자이스에도 공급했던기술이다.
이를 통해 초당 40㎜ 면적의 스캔 속도를 구현했다. 검사속도는 반도체 유리기판 전수 검사를 가로막는 걸림돌이었으나, 회사는510㎜×515㎜ 크기 반도체 유리기판 원장도 빠르게 검사해 전수 검사가 가능하도록 했다.
또 TGV 구멍의 상, 중, 하면의 균열이나 깨짐 등 결함 이미지를 동시에 검출할 수 있다고 회사 측은 설명했다. 이같은 균열은 향후 공정 과정에서 열과 압력을 받아 반도체 유리기판 파손을 야기하는 요인이다. 이를 사전에 미리 파악하면 수율 개선에 도움이 된다. 회사 관계자는“반복 정밀도는 0.25㎛ 수준으로, 업계가 요구하는 0.3㎛ 보다 높다”고 전했다.
TGV 뿐 아니라 유리 기판 절단 후 검사 기능도 제공한다. 반도체 유리기판은 절연막인아지노모토빌드업필름(ABF) 공정 후 개별 단위로 잘라내는데 크기와 두께, 기판 단차 및 결함 여부를 최종적으로 파악할 수 있다.
에스디옵틱스는 반도체 유리 기판 가공 장비 업체인 필옵틱스와 협력해 신규 솔루션을 고객사에 공급할 예정이다. 필옵틱스는 단일 검사 장비로 제작해 반도체 유리기판 제조사에 적용할 계획으로,고객사 한 곳을 확보했고, 해외 반도체 유리기판 제조업체와 공급을 논의 중이다. 정경석 에스디옵틱스 최고전략책임자(CSO) 부사장은 “실제 반도체 유리기판 제조 라인에 적용될 최초의 전수 검사 시스템으로, 기존 개별 검사 방식 보다 높은 효율성과 정밀도를 제공한다”며 “유리기판 공정 품질 개선과 생산성 향상에 기여할 것”이라고 강조했다. - 해당 기사는 전자시문 2025.03.06일자 지면 17면에 게재되었습니다. - 기사 URL: https://www.etnews.com/20250305000109 -
24.12.11
에스디옵틱스는 광학 분야에서 지속적인 기술 혁신과 발전을 통해 업계에서 확고한 입지를 다지고 있는 선도 기업입니다. MALS™ 기술을 바탕으로 업계 수요에 따라 신제품 개발에 박차를 가하고 있으며, 최근에는 WiseScope Vx200 광학 모듈 제품을 출시하였습니다.
WiseScope Vx200 광학 모듈은 MALS™(Micromirror Array Lens System) 기술을 적용하여 실시간 EDoF(Extended Depth of Field)와 All In Focus 2D/3D 이미지 획득, 다중 초점 설정 및 초점 고정 기능, 3D 측정, 직관적인 깊이 맵 정보 획득, 단면 프로파일을 포함한 3D 프로파일 생성 등 외관 비전검사에 꼭 필요한 기능들을 갖추고 있습니다. 특히, WiseScope Vx200은 노즈피스(nosepiece)를 통해 여러 배율의 대물렌즈와 호환 가능하여 검사 목적에 따라 자유롭게 배율을 변경할 수 있는 유연성을 제공합니다. 또한 특정 대물렌즈와 결합하여 독립적인 외관검사용 단독 현미경으로도 사용 가능할 뿐만 아니라 검사 장비에도 적용할 수 있습니다.
WiseScope Vx200 광학 모듈의 제품의 기능과 특징은 하기와 같습니다. - MALS™(Micromirror Array Lens System)기술을 활용한 초고속 초점변경 기술 탑재 - MALS™를 이용한 피사계 심도 확장(EDoF) 및 3D 이미징 기능 - 대물렌즈 배율 선택의 편의성과 유연성을 제공 - 실시간 3D 및 깊이 정보 (Depth map) 생성 - 자동초점 (Auto-Focus), 다중초점 (Multi-Focus), 모든초점 (All-in-Focus) 기능 - 특정 영역 (ROI, region of interest)에 대한 자동초점(Auto-Focus) 및 초점고정(Focus-Lock) 기능 - 최적화된 조명 시스템 적용 - 교정(calibration) 프로그램을 도입한 정확한 3D 측정 - 대물렌즈와 결합하여 독립적인 3D 현미경 구축 가능 에스디옵틱스는 광학 비전 응용 분야에서 토탈 솔루션을 제공하는 선도 기업으로서, 앞으로도 지속적인 혁신과 발전을 통해 광학 분야에서의 영향력을 더욱 강화해 나갈 것입니다. -
23.03.09
반도체와 디스플레이소재부품을 3차원(D)으로 검사해 불량을 신속하게 파악할수 있는 장비가 개발됐다.
에스디옵틱스(SD OPTICS)는 실시간으로 3D 검사를수행하는 '3D 라인 스캐너'를 출시했다.스캐너는 에스디옵틱스가 독자 개발해 독일 자이스 전자 현미경에 공급한 '초고속가변초점 소자(MALS)' 기술을 활용했다.높낮이(단차)가 있는 피사체를 빠르게 검사하고 고화질 3D 이미지를 획득할 수 있다.
일반적인 3D 스캐너는 면적(에어리어) 검사와 라인 검사 방식으로 구분된다.협소한 부분을 세밀히 살필때는 면적 검사로, 반도체 칩이나 디스플레이 패널 등의 검사는 라인 검사를 한다.라인 검사는 검사 선을 움직여 전체 대상을 훑는 방식으로, 복사기가빛으로 된 선을 이동하며 스캔하는 것과 유사하다.
라인 검사는 2차원(2D) 이미지를 얻는 건쉽지만 3D 이미지 획득은 기술 난도가 높다. 피사체 높낮이가달라 스캐너 카메라 렌즈 초점을 재조정해야 하기 때문이다. 검사 선이 이동할 때마다 초점을 새로 맞춰야한다.일부 자동 초점으로 스캔할 수 있는 3D 라인스캐너가있지만 렌즈를 움직이는데 액츄에이터나 모터를 사용하기 때문에 시간이 오래 걸리고 이미지가 선명하지 않다.이마저도해외 제품에 의존하고 있다.
에스디옵틱스는 초고속 가변초점 소자로 이 문제를 해결했다.소자는 일종의 디지털 렌즈다. 초소형 정밀기계기술(MEMS)로만들어져 1㎝보다 작지만 내부에는 8000여개 초미세 거울이들어있다.전압을 통해 초미세 거울을 움직이고 빛의 각도를 제어해 실시간으로 초점을 맞춘다.인간 눈의 수정체가 모양을 달리하며 초점을 맞추는 것과 비슷하다. 이기술을 확보한 건 에스디옵틱스가 유일하다.
초고속 가변초점 소자를 이용하면 3D 라인 스캐너의 검사 선이 이동할 때 피사체 높낮이에맞춰 자동으로 초점을 맞출 수 있다.검사 선 이동 속도에 맞춰 실시간으로 3D 이미지를 얻는 것이다.에스디옵틱스가 자체 개발한 3D 검사 소프트웨어를 활용, 피사체 높이 등 각종 데이터도 수치화할수 있다.
에스디옵틱스는 3D 라인 스캐너 공급을 앞두고 있다. 현재반도체, 디스플레이, 인쇄회로기판(PCB) 검사 라인에 적용하기 위해 고객사와 논의 중이다.
서청수에스디옵틱스 대표는 “반도체 웨이퍼나 디스플레이 패널 등을 검사하는 속도가 매우 빨라 샘플뿐 아니라 전수 검사까지도 가능하다”며“3D 라인 스캐너뿐 아니라 최근 개발 완료한 2D 현미경을 3D 현미경으로 바꾸는 전자식 광학 모듈 등 초고속 가변초점 소자를 활용한 제품 포트폴리오를 다변화할 계획”이라고밝혔다.
