25.04.17

△ 전자신문 주최 '전자신문 테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것'행사가 16일 서울 강남구 포스코타워에서 열렸다.  서청수 에스디옵틱스 대표가 '초고속 3D Line Scanner를 이용한 유리기판 전수 검사'를 주제로 발표하고 있다. 김민수기자 mskim@etnews.com 에스디옵틱스가 초고속 가변초점 렌즈를 활용한 반도체 유리기판용 광학 검사 기술을 공개했다. 이 기술은 전기 신호를 전달하는 '글라스관통전극(TGV)'의 균일성을 살피는 것으로, 유리기판 수율 향상에 기여할 것으로 예상된다. 서청수 에스디옵틱스 대표는 16일 '전자신문 테크데이: 반도체 유리기판의 모든 것'에서 “가공 후 각종 결함이 발생할 경우 심각한 성능저하 및 차후 공정 불량으로 이어질 위험이 크기 때문에 정밀하고 빠른 전수검사 기술이 필수”라고 말했다. 에스디옵틱스는 초고속 가변초점 렌즈(MALS) 기술을 보유한 기업이다. 반도체 정밀기계기술(MEMS)로 만든 8000여개 초미세 거울 렌즈가 초당 1만2000번 초고속으로 실시간 초점을 맞춰 빠른 검사를 가능하게 한다. 에스디옵틱스는 세계적 광학기업 칼 자이스에도 이 기술을 공급한 바 있다. TGV는 유리기판에 수십 마이크로미터(㎛) 크기 구멍을 뚫은 후 구리 등 금속을 채워 전기 신호를 전달하는 통로다. TGV가 제 기능을 발휘하려면 구멍 크기와 간격이 균일해야 한다. 특히 위·아래 구멍 직경에 편차가 없어야 신뢰성을 확보할 수 있다. 에스디옵틱스의 초고속 가변초점렌즈 솔루션은 유리 기판과 수직 및 사선으로 배치된 광학 스캐너가 TGV 구멍의 3D 형상 및 다양한 조건을 실시간 측정, 문제가 있는지 확인할 수 있다. TGV 상·중·하면 직경, 내면 직경을 높은 반복 정밀도로 측정할 수 있고, 테이퍼 각도와 상·하부 홀 위치 편차, 홀 정렬 상태도 확인 가능하다고 서 대표는 설명했다. 또 균열, 결함 등을 검출해 정밀 분석할 수 있다. 서 대표는 “보통 사용되는 5배율 대물렌즈 폭이 20~60㎛인데, 글라스 인터포저나 글라스 코어 기판은 두께가 100~1200㎛라서 60차례 이상 초점 변화가 필요하다”면서 “초고속 가변초점 렌즈 기술을 활용하면 가변 초점을 하면서 라인 스캐너와 결합해 실시간으로 빠르게 검사할 수 있고 반복 정밀도도 0.25㎛ 이하로 정확한 데이터를 획득할 수 있어서 수율을 개선할 수 있다”고 설명했다. 서 대표는 이날 발표에서 싱귤레이션(절단) 공정 이후 절연막인 아지노모토빌드업필름(ABF) 면과 유리 면 치수 및 선폭 검사를 할 수 있는 기술도 소개했다. 반도체 유리기판은 절연막인 ABF 공정 후 개별 단위로 잘라내는데, 에스디옵틱스 솔루션을 사용하면 크기와 두께, 기판 단차 및 결함 여부를 최종적으로 파악할 수 있다. 이 과정을 통해 제품 조립 과정에서 발생할 불량을 예방할 수 있다. 서 대표는 “반도체 유리기판 제조 라인에 적용될 전수 검사 시스템”이라며 “유리기판 공정 품질 개선과 생산성 향상에 기여할 것”으로 기대했다. 에스디옵틱스 솔루션은 필옵틱스 검사 장비에 적용돼 고객사에 공급됐다. - 해당 기사는 전자신문 2025.04.17일자 지면 5면에 게재되었습니다.  - 기사 URL: https://www.etnews.com/20250416000400

25.03.06

▲ 에스디옵틱스 반도체 유리기판 TGV 검사 솔루션 'TGV 비전 마스터'가 샘플을 검사하는 모습.  반도체 유리기판 제조 중 가장 까다로운 공정으로 꼽히는 '글래스관통전극(TGV)'을 전수 검사할 수 있는 기술이 등장했다. 반도체 업계 유리기판도입이 추진되면서 이를 상용화하기 위한 솔루션들이 속속 개발되는 모습이다.

에스디옵틱스는 3차원(3D) 라인 스캐너를 활용해 TGV 전수 검사가 가능한 'TGV 비전 마스터'를 개발했다고 5일 밝혔다.

TGV는 유리기판에 수십마이크로미터(㎛) 크기구멍(홀)을 뚫은 후 구리 등 금속을 채워 전기 신호를 전달하는통로다. TGV가 제 기능을 하려면 구멍들의 크기와 간격이 균일해야 한다. 특히 위·아래 구멍 직경에 편차가 없어야 신뢰성을 확보할 수 있다.

에스디옵틱스는 유리 기판과 수직 및 사선으로 배치된 광학 스캐너로 TGV 구멍을 3D 형상으로 실시간 측정하는 기술을 개발했다. 구멍의 상면과 하면, 안쪽(내면) 직경을 직접측정해, TGV 공정이 제대로 수행됐는지 파악하는 개념이다. 구멍의둥근 형태, 테이퍼 각도, 상·하부 홀 위치 편차까지 정밀하게분석, 공정상의 미세 편차를 즉각 파악하고 이를 통해 반도체 유리기판의 품질을 관리할 수 있다고 회사는설명했다.   ▲ 에스디옵틱스 검사 이미지. 반도체 유리기판 TGV 구멍의 외경, 내경,위치 정밀도, 둥근정도(진원도)를 측정했다(사진=에스디옵틱스)     이같은 검사는 광학 스캐너가 빠르게 초점을 바꿔야 가능한데, 에스디옵틱스는독자 기술인 초고속 가변 초점렌즈(MALS) 기술을 활용했다. 정밀기계기술(MEMS)로만들어진 렌즈는 내부에 8000여개 초미세 거울이 빛의 각도를 제어,실시간으로 초점을 맞춘다. 에스디옵틱스가 세계적 광학 기업 독일 칼 자이스에도 공급했던기술이다.
이를 통해 초당 40㎜ 면적의 스캔 속도를 구현했다. 검사속도는 반도체 유리기판 전수 검사를 가로막는 걸림돌이었으나, 회사는510㎜×515㎜ 크기 반도체 유리기판 원장도 빠르게 검사해 전수 검사가 가능하도록 했다.
또 TGV 구멍의 상, 중, 하면의 균열이나 깨짐 등 결함 이미지를 동시에 검출할 수 있다고 회사 측은 설명했다. 이같은 균열은 향후 공정 과정에서 열과 압력을 받아 반도체 유리기판 파손을 야기하는 요인이다. 이를 사전에 미리 파악하면 수율 개선에 도움이 된다. 회사 관계자는“반복 정밀도는 0.25㎛ 수준으로, 업계가 요구하는 0.3㎛ 보다 높다”고 전했다.
TGV 뿐 아니라 유리 기판 절단 후 검사 기능도 제공한다. 반도체 유리기판은 절연막인아지노모토빌드업필름(ABF) 공정 후 개별 단위로 잘라내는데 크기와 두께, 기판 단차 및 결함 여부를 최종적으로 파악할 수 있다.
에스디옵틱스는 반도체 유리 기판 가공 장비 업체인 필옵틱스와 협력해 신규 솔루션을 고객사에 공급할 예정이다. 필옵틱스는 단일 검사 장비로 제작해 반도체 유리기판 제조사에 적용할 계획으로,고객사 한 곳을 확보했고, 해외 반도체 유리기판 제조업체와 공급을 논의 중이다.   정경석 에스디옵틱스 최고전략책임자(CSO) 부사장은 “실제 반도체 유리기판 제조 라인에 적용될 최초의 전수 검사 시스템으로, 기존 개별 검사 방식 보다 높은 효율성과 정밀도를 제공한다”며 “유리기판 공정 품질 개선과 생산성 향상에 기여할 것”이라고 강조했다.       - 해당 기사는 전자신문 2025.03.06일자 지면 17면에 게재되었습니다.  - 기사 URL: https://www.etnews.com/20250305000109

24.12.11

  에스디옵틱스는 광학 분야에서 지속적인 기술 혁신과 발전을 통해 업계에서 확고한 입지를 다지고 있는 선도 기업입니다. MALS™ 기술을 바탕으로 업계 수요에 따라 신제품 개발에 박차를 가하고 있으며, 최근에는 WiseScope Vx200 광학 모듈 제품을 출시하였습니다.
WiseScope Vx200 광학 모듈은 MALS™(Micromirror Array Lens System) 기술을 적용하여 실시간 EDoF(Extended Depth of Field)와 All In Focus 2D/3D 이미지 획득,  다중 초점 설정 및 초점 고정 기능, 3D 측정, 직관적인 깊이 맵 정보 획득, 단면 프로파일을 포함한 3D 프로파일 생성 등 외관 비전검사에 꼭 필요한 기능들을 갖추고 있습니다. 특히, WiseScope Vx200은 노즈피스(nosepiece)를 통해 여러 배율의 대물렌즈와 호환 가능하여 검사 목적에 따라 자유롭게 배율을 변경할 수 있는 유연성을 제공합니다.  또한 특정 대물렌즈와 결합하여 독립적인 외관검사용 단독 현미경으로도 사용 가능할 뿐만 아니라 검사 장비에도 적용할 수 있습니다.
WiseScope Vx200 광학 모듈의 제품의 기능과 특징은 하기와 같습니다. - MALS™(Micromirror Array Lens System)기술을 활용한 초고속 초점변경 기술 탑재 - MALS™를 이용한 피사계 심도 확장(EDoF) 및 3D 이미징 기능 - 대물렌즈 배율 선택의 편의성과 유연성을 제공 - 실시간 3D 및 깊이 정보 (Depth map) 생성 - 자동초점 (Auto-Focus), 다중초점 (Multi-Focus), 모든초점 (All-in-Focus) 기능 - 특정 영역 (ROI, region of interest)에 대한 자동초점(Auto-Focus) 및 초점고정(Focus-Lock) 기능 - 최적화된 조명 시스템 적용 - 교정(calibration) 프로그램을 도입한 정확한 3D 측정  - 대물렌즈와 결합하여 독립적인 3D 현미경 구축 가능   에스디옵틱스는 광학 비전 응용 분야에서 토탈 솔루션을 제공하는 선도 기업으로서, 앞으로도 지속적인 혁신과 발전을 통해 광학 분야에서의 영향력을 더욱 강화해 나갈 것입니다.